[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-9] ミニマル装置群で作製したpMOSインバータ

〇居村 史人¹、浦 伸吾²、北山 侑司¹、古賀 和博¹、浅野 均¹、中戸 克彦¹、クンプアン ソマワン^{1, 3}、原 史朗^{1, 3} (1.ミニマルファブ, 2.ロジック・リサーチ, 3.産総研)

キーワード：ミニマル