[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

△ [14a-B4-1] 量子分子動力学シミュレーションによるSiCエッチングプロセスにおける化学反応ダイナミクスの解明

〇(D)伊藤 寿¹、桑原 卓哉¹、樋口 祐次¹、尾澤 伸樹¹、久保 百司¹ (1.東北大院工)

キーワード：SiC、エッチング、分子動力学