[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

△ [14a-B4-12] 超高耐圧4H-SiCパワーデバイスを目指した衝突イオン化係数の決定

〇(DC)丹羽 弘樹¹、須田 淳¹、木本 恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：炭化珪素、衝突イオン化係数、パワーデバイス