[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-7] Ti電極とTiC電極のSiCショットキーダイオードの電気特性評価

〇(B)鈴木 智之¹、岡本 真里²、宗清 修²、角嶋 邦之²、片岡 好則²、西山 彰²、杉井 信之²、若林 整²、筒井 一生²、名取 研二¹、岩井 洋¹ (1.東工大フロンティア研, 2.東工大総理工)

キーワード：ショットキーダイオード、炭化ケイ素、電極