[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-2] 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを用いた金属クラスターイオン源の開発

〇(M1)水内 勇¹、秋元 健吾¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三^{1, 2}、中野 元善¹、大下 慶次郎¹、美齊津 文典¹ (1.東北大院理, 2.(株)アヤボ)

キーワード：高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法、クラスター、飛行時間型質量分析法