[14a-D7-1~12] 17.4 デバイス応用

△ [14a-D7-2] SiNゲートスタックによる高キャリア移動度グラフェンチャネルFET

〇玉虫 元¹、菅原 健太¹、Mastura binti Hussin¹、末光 哲也¹、須藤 亮太¹、吹留 博一¹、末光 眞希¹、尾辻 泰一¹ (1.東北大 通研)

キーワード：グラフェン、FET、移動度