[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-6] コーティングカップ内の局所温度制御によるミニマルコーティング特性

〇奧田 修史¹、武内 翔^{1, 2}、扇子 義久^{1, 2}、伊藤 孝宏^{1, 3}、クンプアン ソマワン^{1, 4}、原 史朗^{1, 4} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.リソテックジャパン, 3.オリエンタルモーター, 4.産総研)

キーワード：ミニマル