[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-8] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム（Ⅳ）

〇谷島 孝¹、安井 政治¹、クンプアン ソマワン^{1, 2}、前川 仁^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ