14:45 〜 15:15 [13p-B8-3] 超高温RTP 技術によるSi ウェーハの点欠陥制御 〇荒木 浩司1、須藤 治生1、青木 竜彦1、前田 進1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)