13:30 〜 15:30 [14p-P9-2] ガスソースMBE法により作製した3C-SiC(111)自立基板の電気的評価 〇中野 由崇1、浅村 英俊2、大内 澄人2、生川 満久2、稲垣 徹2、川村 啓介2 (1.中部大工、2.エア・ウォーター)