11:00 〜 11:15
〇久保田 智広1、美山 遼2、菊地 良幸2、寒川 誠二1,3 (1.東北大流体研、2.東京エレクトロン、3.東北大WPI-AIMR)
久保田 智広
発表者・著者、共著者
2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 B9 (展示ホール内)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.4 プラズマエッチング
11:15 〜 11:30
〇久保田 智広1、久保 百司2、寒川 誠二1,3 (1.東北大流体研、2.東北大金研、3.東北大WPI-AIMR)