10:30 〜 10:45 [15a-A26-6] 反応性スパッタリング法による窒化カーボン膜の作製と特性評価 〇太田 俊平1、布施 和志1、宮口 有典1、安 炯祐1、神保 武人1 (1.(株)アルバック半電研)