13:30 〜 15:30 [14p-P9-15] 4H-SiCパワーデバイスの応力解析技術の構築 〇(M2)榊間 大輝1、村上 陽一1、泉 聡志1、牛流 章弘2、廣畑 賢治2 (1.東大工、2.東芝研究開発センター)