13:30 〜 15:30 [14p-P9-12] In situ XRR及びHAXPESによる4H-SiCの熱酸化過程の観察 〇安野 聡1、小金澤 智之1、村岡 幸輔2、黒木 伸一郎2 (1.高輝度光科学研究セ、2.広島大学ナノデバイス)