09:30 〜 09:45 [13a-B9-3] 吸引プラズマの精密エッチングレート制御 〇狩野 諒1,3、菅 洋志1、新堀 俊一郎2、高橋 賢2、宮脇 淳3、久保 利隆3、安藤 淳3、清水 哲夫3 (1.千葉工大、2.三友製作所、3.産総研)