13:30 〜 15:30 [14p-P5-8] フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極アレイ形成 粂内 真子1、熊谷 慎也1、趙 亨峻2、近藤 博基2、石川 健治2、堀 勝2、〇佐々木 実1 (1.豊工大、2.名大)