13:30 〜 15:30 [14p-P10-8] Ga アセチルアセトナートを原料に用いた β−Ga2O3 の減圧 MOCVD 成長 〇安田 隆1、富樫 隆1、中込 真二1、國分 義弘1 (1.石専大理工)