11:15 〜 11:30 [13a-A23-6] 圧電MEMS振動発電への応用に向けたBiFeO3薄膜の誘電特性の改善 〇荒牧 正明1、苅谷 健人1、吉村 武1、村上 修一2、藤村 紀文1 (1.阪府院工、2.阪府産技研)