11:15 〜 11:30 [15a-A23-9] 超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハの酸素析出挙動 〇前田 進1、須藤 治生1、荒木 浩司1、斉藤 広幸1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)