10:15 〜 10:30 [14a-A37-6] 水蒸気を反応ガスに用いた低温スパッタ法による酸化ニッケル薄膜の作製 〇阿部 良夫1、山内 駿1、川村 みどり1、金 敬鎬1、木場 隆之1、奈良井 哲2 (1.北見工大、2.神戸製鋼所)