14:15 〜 14:30 [13p-C31-3] PF BL-11D における 5 – 10 nm 領域の回折格子の回折効率評価 〇羽多野 忠1、小池 雅人2、浮田 龍一3、笹井 浩行3、長野 哲也3 (1.東北大多元研、2.量研機構量子ビーム、3.島津製作所デバイス)