11:15 〜 11:30
〇横川 凌1、鈴木 貴博1、鈴木 涼太1、高橋 和也2、小森 克彦2、森本 保3、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北㈱、3.東京エレクトロン㈱)
横川 凌
発表者・著者、共著者
2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)
11:15 〜 11:30
〇横川 凌1、鈴木 貴博1、鈴木 涼太1、高橋 和也2、小森 克彦2、森本 保3、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北㈱、3.東京エレクトロン㈱)