09:00 〜 09:15 [16a-A22-1] パワーデバイス用2インチ(001)β-Ga2O3基板の作製と評価 〇増井 建和1、輿 公祥1、渡辺 信也1、倉又 朗人1、山腰 茂伸1 (1.タムラ製作所)