14:45 〜 15:00 △ [15p-A22-6] 高圧水蒸気処理による高誘電体膜SrTa2O6を用いたIGZO薄膜トランジスタの特性改善 〇(M2)及川 賢人1、藤井 茉美1、Bermundo Juan Paolo1、内山 潔2、石河 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.鶴岡高専)