13:30 〜 15:30 △ [14p-P10-9] 室温レーザーアニールによるβ-Ga2O3薄膜の固相エピタキシーに与えるNiOバッファ層の影響 〇中村 稀星1、内田 啓貴1、土嶺 信夫2、小山 浩司3、金子 智4,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大、2.(株)豊島製作所、3.(株)並木精密宝石、4.神奈川県産技セ)