14:30 〜 14:45 △ [14p-C31-4] Si保護膜を用いた4H-SiCへのAlCl3水溶液中レーザ照射によるAlドーピング 〇(M1)土屋 知大1、池上 浩1、諏訪 輝1、池田 晃裕1、中村 大輔1、浅野 種正1 (1.九州大シス情)