11:45 〜 12:00 [16a-B1-11] リモートプラズマCVD SiO2/GaN界面の光電子分光分析 〇グェン スァン チュン1、大田 晃生1、牧原 克典1、池田 弥央1、宮崎 誠一1 (1.名大院工)