17:30 〜 17:45 [14p-D61-15] 原子層堆積法で成膜した窒化ニオブ(NbN)膜の急速熱処理プロセスによる超伝導特性向上 〇浮辺 雅宏1、藤井 剛1、志岐 成友1、大久保 雅隆1 (1.産総研 ナノエレ)