13:30 〜 15:30 △ [14p-P10-11] α-(AlxGa1-x)2O3傾斜バッファ層を導入したα-Ga2O3薄膜の作製 〇神野 莉衣奈1、内田 貴之1、金子 健太郎1、藤田 静雄1 (1.京大院工)