13:30 〜 13:45 [16p-B1-1] プラズマ励起原子層堆積保護膜によるAlGaN/GaN HEMTの表面安定化 〇鈴木 貴之1、山田 富明1、河合 亮輔1、川口 翔平1、張 東岩1、岩田 直高1 (1.豊田工大)