Makato Moriyama

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発表者・著者、共著者

2016年9月13日(火) 14:45 〜 16:15 A41 (国際会議室)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.8 Plasma Electronics English Session

[13p-A41-3~8] 8.8 Plasma Electronics English Session

14:45 〜 15:00

▼ [13p-A41-3] Effect of Width and Number of Slits in Faraday Shield on the Performance of Inductively Coupled Plasma

〇(M1)Makato Moriyama¹、Daisuke Ogawa¹、Ivan Ganachev^1,2、Keiji Nakamura¹ (1.Chubu Univ.、2.Shibaura Mechatronics)