09:30 〜 11:30 [14a-P6-13] GaNまたはAlGaN上に形成したSiO2膜へのGaの熱拡散 〇片岡 恵太1、兼近 将一1、青木 裕子1、上田 博之1、成田 哲生1、木本 康司1、上殿 明良2 (1.豊田中研、2.筑波大数理)