13:30 〜 15:30
〇小西 敏文1、山根 大輔2,4、伊藤 浩之2,4、道正 志郎2,4、石原 昇2,4、年吉 洋3,4、益 一哉2,4、町田 克之1,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)
小西 敏文
発表者・著者、共著者
2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)
13:30 〜 15:30
〇小西 敏文1、山根 大輔2,4、伊藤 浩之2,4、道正 志郎2,4、石原 昇2,4、年吉 洋3,4、益 一哉2,4、町田 克之1,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)