YongJun Seo

発表者・著者、共著者

2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)

一般セッション(ポスター講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P5-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

13:30 〜 15:30

▲ [14p-P5-5] Fabrication of Ferrite Cantilevers using a Dual Beam FIB/SEM

〇(P)YongJun Seo^1,2、Kazuya Harii^1,3、Ryo Takahashi^1,3、Hiroyuki Chudo^1,3、Koichi Oyanagi⁴、Zhiyong Qiu²、Takahito Ono⁵、Yuki Shiomi^1,4、Eiji Saitoh^1,2,3,4 (1.ERATO SQR project、2.AIMR、3.JAEA、4.IMR、5.Tohoku Univ.)

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