10:45 〜 11:00 [15a-A23-7] 超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハのボイド欠陥消滅挙動 〇須藤 治生1、荒木 浩司1、青木 竜彦1、仙田 剛士1、前田 進1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)