10:30 〜 10:45 [15a-A24-6] 単結晶シリコンの品質に及ぼす炭素と酸素析出の影響 〇正田 勲1、橘 昇二1、飯田 伸仁1、西島 英一1、小島 拓人2、中村 京太郎2、小椋 厚志2、大下 祥雄3 (1.トクヤマ、2.明治大理工、3.豊田工大)