11:15 〜 11:30 [15a-A26-9] ケイ素添加によるアモルファス炭素系膜の耐食性能の向上 〇西川 純平1、中野 雅之2、稗田 純子3、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東京工業大、2.東京高専、3.名古屋大)