09:00 〜 09:15 [15a-A31-1] RFスパッタによる酸化亜鉛薄膜作製及び基板依存性の分析 〇井本 健太郎1、侯 聖文1、李 朝陽1,2 (1.高知工科大、2.ナノテクノロジーセンター)