13:45 〜 14:00 [15p-A23-3] パワーデバイス内部の空乏層の評価(1)多機能走査型プローブ顕微鏡による評価パワーデバイス用結晶の評価(ⅩⅨ) 〇山本 秀和1、潤間 威史1、佐藤 宣夫1、小森 郷平1、小田 昭紀1 (1.千葉工大工)
14:00 〜 14:15 [15p-A23-4] パワーデバイス内部の空乏層の評価(2)数値計算との比較パワーデバイス用結晶の評価(ⅩⅩ) 〇山本 秀和1、小森 郷平1、小田 昭紀1、潤間 威史1、佐藤 宣夫1 (1.千葉工大工)