15:00 〜 15:15
〇久保山 貴文1、小川 新平2、藤澤 大介2、木股 雅章1 (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)
久保山 貴文
発表者・著者、共著者
2016年9月15日(木) 13:45 〜 18:30 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月15日(木) 13:45 〜 18:30 B10 (展示控室1)
15:00 〜 15:15
〇久保山 貴文1、小川 新平2、藤澤 大介2、木股 雅章1 (1.立命館大学、2.三菱電機株式会社)