13:30 〜 13:45
〇柴山 茂久1,2、徐 倫1、田 璇1、右田 真司3、鳥海 明1 (1.東大院工、2.学振特別研究員、3.産総研)
柴山 茂久
発表者・著者、共著者
2016年9月15日(木) 13:15 〜 17:45 B9 (展示ホール内)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.3 絶縁膜技術
2016年9月15日(木) 13:15 〜 17:45 B9 (展示ホール内)
13:30 〜 13:45
〇柴山 茂久1,2、徐 倫1、田 璇1、右田 真司3、鳥海 明1 (1.東大院工、2.学振特別研究員、3.産総研)