14:00 〜 14:15 [15p-B9-4] TiNメタル中の不純物酸素が強誘電体Hf0.5Zr0.5O2生成へ与える影響 〇太田 裕之1、右田 真司1、黒澤 悦男1、鳥海 明2 (1.産総研、2.東大院工)