14:45 〜 15:00
〇新部 正人1、竹平 徳崇1、徳島 高2 (1.兵庫県大高度研、2.理研SRセンタ)
新部 正人
発表者・著者、共著者
2016年9月13日(火) 13:45 〜 17:00 C31 (日航3階孔雀AB)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 7 ビーム応用
- | 7.1 X線技術
2016年9月15日(木) 13:30 〜 15:30 P7 (展示ホール)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.4 プラズマエッチング
13:30 〜 15:30
〇新部 正人1、川上 烈生2、中野 由崇3、田中 良1、荒木 佑馬1、東 知里2、向井 孝志4 (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院理工、3.中部大工、4.日亜化学)