林嘉樹

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発表者・著者、共著者

2016年9月16日(金) 09:00 〜 11:30 B7 (展示ホール内)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-B7-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

11:00 〜 11:15

[16a-B7-8] C₂H₂/Ar rf プラズマにおける微粒子核発生時間に対するガス温度と圧力の影響

〇林嘉樹^1,2、エノマリ¹、オラバイエヴサギ³、ライフャビュフェンディ¹、高橋和生² (1.Lab.GREMI、2.京都工芸繊維大学、3.Al Farabi Kazakh National Univ.)