09:30 〜 11:30 [16a-P5-23] プラズマダメージ低減ECR-MBE法で作製したIn1-xGaXN、及びIn1-XAlXN混晶薄膜成長における混晶比制御の検討 〇淀 徳男1、中川 竜磨1、松下 真也1、藤元 章2、原田 義之2、吉本 護3 (1.大阪工大工、2.大阪工大一般、3.東工大物質学院)