15:00 〜 15:15 △ [16p-B7-8] リモート窒素プラズマの照射によるSiCの表面窒化特性のサンプル温度依存性 〇嶋林 正晴1、栗原 一彰2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.IMEC/Toshiba)