真空コンポーネント実機および装置パネル展示

独自の低インダクタンスアンテナ(LIA)を用いたプラズマ処理装置をはじめ研究分野に用いる製品を詳細させて頂きます。

MBE装置、MOCVD装置、SiC用CVD装置、SiC用超高温プロセス炉、面発光レーザー用酸化装置、各種Kセル