オープンクリーンシステムKOACH、静電塗布装置PDR-04、HVA社製手動ゲートバルブ、H-Square社製ハンドリングツール、極低温プローバーパネル

●サファイア、ダイヤモンド結晶育成・加工技術 ●精密微細加工 ●小型基板洗浄装置『Ecclear -エクリア』

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「ナノテクノロジープラットフォーム」は、文部科学省の委託に拠り、最先端の研究設備を広く一般の研究者・技術者の方々へ利用して頂く事業です。ナノテクノロジー分野の更なる発展に寄与することを目的に、全国26ヶ所の大学・研究機関が一体となって、三つの技術領域（微細構造解析、微細加工、分子・物質合成）に於いて、最先端設備と共に、高度な技術支援を提供します。これらの概要と利用事例をご説明し、利用相談にも...

Nature Research ポートフォリオをご紹介いたします。今年1月に創刊した月刊オンラインジャーナルNature EnergyとNature Reviews Materials。また、6月にリリースしたNature Research Solutionsからナノテク分野に特化したソリューションデータベースNano。Nanoでは、実際のサイトにアクセスいただけます。

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CCD, ICCD, EMCCD, emICCD, X-Ray and InGaAs cameras; spectrometers;

Foundry service, Mold for Nanoimprint, Pressurization/Decompression Desktop clean oven, Compact supercritical dryer

■EPIREVO G8 枚葉式200/150mm GaN-on-Si MOCVD装置 ■EPIREVO S6 枚葉式150/100mm SiCエピタキシャル成長装置 ■HT2000FD 枚葉式200mm シリコンエピタキシャル成長装置