2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-A21-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 A21 (メインホールA)

船戸 充(京大)、新田 州吾(名大)

10:00 〜 10:15

[13a-A21-5] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるGaN系UV-LEDの特性評価

西村 辰彦1、北村 藤和1、水端 稔1、中西 英俊1、酒井 裕司2、川山 巌2、斗内 政吉2 (1.SCREEN、2.阪大レーザー研)

キーワード:テラヘルツ波、窒化ガリウム、紫外線LED

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)は、試料にフェムト秒レーザーパルスを照射し、放射されるTHz波を検出することで分析を行う技術である。我々はLTEMを太陽電池評価やGaNウェハ評価に適用してきた。一方、GaN系青色・紫外線LEDは産業用途として高い光強度が要求されるが、駆動に伴う特性劣化が指摘されている。今回、我々は、光量低下したGaN系UV-LEDをLTEMによって計測した。当日は、光量低下のないLEDとの比較・考察について説明する。