[13a-A23-1~7] 6.1 Ferroelectric thin films

[13a-A23-6] Improvement of dielectric properties of BiFeO₃ films for piezoelectric MEMS vibration energy harvester

〇Masaaki Aramaki¹, Kento Kariya¹, Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.TRI-Osaka)

Keywords:BFO, pVEH, piezoelectric

圧電MEMS振動発電の圧電体材料としてBiFeO₃薄膜を用い、約10μW/mm²/G²の規格化発電量の素子の作製に成功している。しかし、実発電量は0.034μWと低いため、実発電量の向上に向け素子のサイズアップを行う。高い変換効率を維持するためには圧電体膜の厚膜化が要求され、本研究ではスパッタ法を用いてBiFeO₃膜を作製しており、これまでの試料では誘電分散により比誘電率が増大するという課題を有している。今回はその解決に取り組んだ結果について発表する。